鋁合金濺鍍靶材工藝

　　關于用鑄造法和濺射成形法制備鋁合金濺鍍靶材，鑄造法的缺點是靶材易發生偏析現象，影響濺鍍薄膜的質量，且濺鍍靶表面易產生微顆粒，影響薄膜性質的均勻性。濺射成形法雖然能避免鑄造法的缺點，但工藝復雜，制備成本較高，質量不易控制。

　　中國臺灣財團法人工業技術研究院采用氣噴粉末方法制備鋁合金濺鍍靶材，能夠避免材料偏析和微顆?，F象，生產效率高，成本較低。其制備工藝如下;

　　1)熔熔金屬原料。

　　2)然后以氣噴法將該金屬熔液制成金屬粉末。

　　3)篩分合金粉，獲得適當粒徑的粉末。

　　4)最后，以真空熱壓法將該篩分后的金屬粉末成形，制成鋁合金濺鍍靶材。熱壓成形溫度為500~ 650℃，時間為80 ~ 100min，壓力為20 ~50MPa;通入氬氣作為保護氣體，氫氣作為還原氣體。