瀏覽數量:195 作者:本站編輯 發布時間: 2017-09-20 來源:歐凱靶材
濺射鍍膜就是最近發展起來的一種新的表面處理技術。表面處理技術能使材料的物理,機械和化學性能得到提高,而濺射鍍膜比以往的真空鍍膜具有“高速、低溫”兩個顯著的特點.
靶材形狀:板材,圓片,矩形,方形,圓環,圓棒,臺階圓片,臺階矩形,三角形,管狀靶,套靶等或按客戶要求訂做,可根據客戶提供的圖紙要求加工. 并可以為客戶提供部分靶材的邦定服務.
參考尺寸:直徑 ≦355.6mm (14英寸) ,長度≦1000mm ,寬度≦200mm ,厚度≦20mm
濺射工藝有哪幾種?
濺射工藝主要用于濺射刻蝕和薄膜淀積兩個方面。
淀積薄膜時,濺射源置于靶極,受氬離子轟擊后發生濺射。如果靶材是單質的,則在襯底上生成靶極物質的單質薄膜;若在濺射室內有意識地引入反應氣體,使之與濺出的靶材原子發生化學反應而淀積于襯底,便可形成靶極材料的化合物薄膜,通常,制取化合物或合金薄膜是用化合物或合金靶直接進行濺射而得。
濺射刻蝕時,被刻蝕的材料置于靶極位置,受氬離子的轟擊進行刻蝕??涛g速率與靶極材料的濺射產額、離子流密度和濺射室的真空度等因素有關。濺射刻蝕時,應盡可能從濺射室中除去濺出的靶極原子。常用的方法是引入反應氣體,使之與濺出的靶極原子反應生成揮發性氣體,通過真空系統從濺射室中排出。
濺射靶材廠家哪家好?
寶雞歐凱濺射靶材公司擁有專業技術團隊,引進國內先進的加工設備,產品達到了國際質量標準要求。公司主要產品有鈦、鋯、鎢、鉬、鉭、鈮、鈷濺射靶材等產品,為您提供各種靶材, 濺射靶材,高純度濺射靶材,作為一家專業的靶材廠家,歐凱價格優惠,質量保證,靶材產品已遠銷全球,并受到業界的一致好評。
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