鉬靶材和鋁靶材的生產工藝

　　隨著科技的發展，濺射靶材在各個行業應用廣泛。寶雞歐凱濺射靶材今天主要為大家介紹鉬靶材和鋁靶材的生產工藝。

　　鉬靶材工藝：以粉末冶金方法制成靶材坯料為原料;靶材坯料經過機械加工后和無氧銅(OFC)背板在潔凈環境下焊接制成基礎靶材;基礎靶材經超聲波無損探傷檢測，焊接結合率達到98%以上，再進行精細機械加工，以保證靶材的精度要求，滿足靶材電場、磁場、冷卻水道等的安裝要求;最后將精加工后的靶材送至凈化室清洗和封裝，去除表面附著的任何無機物及有機物，裝入特殊的塑料袋中，以防氧化、污染和潮濕。

　　鋁靶材工藝：首先原料入廠經切斷后，進行塑性加工和熱處理，以改善其微觀組織結構，制成靶材坯料;靶材坯料經過機械加工后和無氧銅(OFC)背板在潔凈環境下焊接制成基礎靶材;基礎靶材經超聲波無損探傷檢測，焊接結合率達到98%以上，再進行精細機械加工，以保證靶材的精度要求，滿足靶材電場、磁場、冷卻水道等的安裝要求;最后將精加工后的靶材送至凈化室清洗和封裝，去除表面附著的任何無機物及有機物，裝入特殊的塑料袋中，以防氧化、污染和潮濕。