銅靶材主要技術指標

1、尺寸的確定及公差范圍

根據實際需要，銅靶材需要高精度的外觀尺寸，按照客戶要求提供一定規格及偏差的靶材。

2、純度要求

因此純度的要求主要依據客戶的使用用途來確定，以滿足客戶需要為依據。

3、微觀結構要求

①晶粒：靶材的晶粒度大小影響靶材的濺射性能。因此晶粒的大小主要依據客戶的使用要求，經過一系列鍛打熱處理達到用戶要求。

②晶向：根據銅靶材的組織結構特點，采用不同的成型方法，熱處理工藝等按用戶要求進行控制。

4、外觀質量要求

靶材表面必須無造成使用上不良的因素，依據客戶要求，保證濺射過程的質量。

5、焊接結合率要求

銅靶材在濺射前與其他材料焊接在一起，則焊接后必須經過超聲波檢驗，保證兩者的不結合區域≥95%，滿足大功率濺射的要求而不至于脫落。對于一體型則不需要進行超聲波檢測。

6、內部質量要求

鑒于靶材的使用條件，靶材內部需無氣孔、夾雜物等缺陷。 結合實際需要與客戶協商確定。

7、產品加工凈化要求

對靶材進行全面的清洗，確保靶材表面無玷污和顆粒附加物附著后，直接進行真空包裝，依據客戶的要求。