平面靶材簡介

　　濺射靶材根據形狀可分為平面靶材，多弧靶材，旋轉靶材。平面靶材主要是指具有一定厚度的圓形靶材及矩形靶材，例如：直徑100*厚度40mm的銅靶材。平面靶材通過鏍文等方式與濺射設備相連接，在真空條件下濺射成膜層附著于基片上，再通過各種手段(刻蝕)對薄膜加工，以滿足不同需要。本文從平面靶材的成分結構，生產工藝和應用領域方面介紹了平面靶材。

　　1.成分結構

　　主要平面靶材：

　　高純鋁靶材Al  高純銅靶材Cu  高純鐵靶材Fe  高純鈦靶材Ti  高純鎳靶材Ni

　　高純鎂靶材Mg高純鉻靶材Cr   高純鋅靶材Zn  高純銀靶材Ag  高純鈷靶材Co

　　高純鈮靶材Nb 高純錫靶材Sn  高純銦靶材In   高純鋯靶材Zr   高純鉭靶材Ta

　　高純鍺靶材Ge 高純硅靶材Si    高純鎢靶材W   高純鉿靶材Hf  高純釔靶材Y

　　高純釓靶材Gd 高純釤靶材Sm  高純鏑靶材Dy  高純鈰靶材Ce  高純鑭靶材La

　　高純金靶材Au 高純不銹鋼靶材 高純石墨靶材C 高純硒靶材Se  高純鉬靶材Mo

　　高純合金濺射靶材

　　二元合金靶：

　　鎳鉻靶Ni-Cr  鎳鐵靶Ni-Fe  鎳鈷靶Ni-Co  鎳鋯靶Ni-Zr  鎳鋁靶Ni-Al  鎳銅靶Ni-Cu  鎳釩靶Ni-V  銅銦靶Cu-In  銅鎵靶Cu-Ga  銅硒靶Cu-Se  鈦鋁靶Ti-Al  鋁硅靶Al-Si  鋁銅靶Al-Cu  鋁鈦靶Al-Ti  鋁鎂靶Al-Mg 銀銅靶Ag-Cu   鐵錳靶Fe-Mn  銦錫靶In-Sn  鈷鐵靶Co-Fe  鎢鈦靶W-Ti  鋅鋁靶Zn-Al  鋁鈧靶Al-Sc  銅錫靶Cu-Sn  鋯鋁靶Zr-Al  鋯鐵靶Zr-Fe  鋯硅靶Zr-Si  釩鋁靶V-Al  硼鐵靶B-Fe

　　多元合金靶：

　　鈷鐵硼靶Co-Fe-B  銅銦鎵靶Cu-In-Ga  銅銦鎵硒靶Cu-In-Ga-Se等。

　　2.生產工藝

　　熔融鑄造法、粉末冶金法。

　　3.應用領域

　　平面靶材主要應用于裝飾行業、建筑玻璃、汽車玻璃、低輻射玻璃、平面顯示器、光學工業、光數據存儲行業等。