瀏覽數量:106 作者:本站編輯 發布時間: 2017-04-17 來源:本站
目前全世界各大濺鍍靶材制造廠中,對于鋁合金濺鍍靶的制造都采用兩種不同方法,一種是采用鑄造法制作鑄錠,再進行鍛造過程制作的;另一種是以噴覆成型方式制作的。就已知的鑄造/鍛造方法而言,在制作鋁合金濺鍍靶材時,常因添加合金元素而使鋁合金濺鍍靶材產生偏析現象,進而使得濺鍍所得的薄膜品質較差,且濺鍍靶表面易產生微顆粒,亦會影響薄膜性質的均勻性;而若使用已知的噴覆成型方式制作鋁合金濺鍍靶材時,雖然可以避免上述相關缺點,但將使濺鍍靶制作成本大幅提高,尤其是在制作一些不易以鍛造方式而必須采用熱均壓的濺鍍靶時,其成本更將因使用熱均壓而提高。
為了使鈦鋁合金靶材的制作過程更簡易,成本更低,在這兒介紹一種以氣噴粉末制作鋁合金濺鍍靶材的方法,其原理是指一種以氣噴法依合金成分配比制作濺鍍靶材的原料粉末,再將該合金粉末予以篩分,得到適當的粉末粒徑,最后以此粉末進行真空熱壓成形以制成鋁合金濺鍍靶材。這種以氣噴粉末制作鋁合金濺鍍靶材的方法,對于制作各種不同的鋁合金濺鍍靶材(鋁-鉻、鋁-硅-銅、鋁-鈦等等)皆可應用,其較佳實施步驟是:提供制作鋁合金濺鍍靶材的金屬原料并熔融成金屬熔液;接著,以氣噴法將該金屬熔液制成金屬粉末;最后,以真空熱壓將該金屬粉末成形,制成鋁合金濺鍍靶材,并通入惰性氣體作為保護氣體。這個方法能夠避免產生材料偏析和微顆粒的缺點,且更快速且便宜的制作高品質的濺鍍靶材。