新型的鈦鋁合金靶材制作方法

目前全世界各大濺鍍靶材制造廠中，對于鋁合金濺鍍靶的制造都采用兩種不同方法，一種是采用鑄造法制作鑄錠，再進行鍛造過程制作的；另一種是以噴覆成型方式制作的。就已知的鑄造/鍛造方法而言，在制作鋁合金濺鍍靶材時，常因添加合金元素而使鋁合金濺鍍靶材產生偏析現象，進而使得濺鍍所得的薄膜品質較差，且濺鍍靶表面易產生微顆粒，亦會影響薄膜性質的均勻性；而若使用已知的噴覆成型方式制作鋁合金濺鍍靶材時，雖然可以避免上述相關缺點，但將使濺鍍靶制作成本大幅提高，尤其是在制作一些不易以鍛造方式而必須采用熱均壓的濺鍍靶時，其成本更將因使用熱均壓而提高。

為了使鈦鋁合金靶材的制作過程更簡易，成本更低，在這兒介紹一種以氣噴粉末制作鋁合金濺鍍靶材的方法，其原理是指一種以氣噴法依合金成分配比制作濺鍍靶材的原料粉末，再將該合金粉末予以篩分，得到適當的粉末粒徑，最后以此粉末進行真空熱壓成形以制成鋁合金濺鍍靶材。這種以氣噴粉末制作鋁合金濺鍍靶材的方法，對于制作各種不同的鋁合金濺鍍靶材(鋁-鉻、鋁-硅-銅、鋁-鈦等等)皆可應用，其較佳實施步驟是：提供制作鋁合金濺鍍靶材的金屬原料并熔融成金屬熔液；接著，以氣噴法將該金屬熔液制成金屬粉末；最后，以真空熱壓將該金屬粉末成形，制成鋁合金濺鍍靶材，并通入惰性氣體作為保護氣體。這個方法能夠避免產生材料偏析和微顆粒的缺點，且更快速且便宜的制作高品質的濺鍍靶材。