濺射靶材的清潔

　　靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。金屬靶材可以通過四步清潔：

　　第一步用在丙酮中浸泡過的無絨軟布清潔;

　　第二步與第一步類似用酒精清潔;

　　第三步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。氧化物及陶瓷靶材的清洗建議用“無絨布”進行清潔。

　　第四步用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統中會造成起弧的雜質微粒。