鈦鋁靶材IP咖啡工藝案例

真空抽至5.5x10-3Pa加熱至250℃后降溫至160℃再起鍍

氬離子清洗(輝光放電)3.0x100Pa偏壓-500V 8分鐘

鈦離子轟擊(主弧轟擊) Ar 3.0x10-1Pa -300V 鈦靶鍍1分鐘

鈦靶+鈦鋁靶 Ar 3.0x10-1Pa -300V 混鍍1分鐘

關掉鈦靶

鈦鋁靶 N2 8.0x10-1 -80V 鍍15～20分鐘

結束出爐

操作時注意：

1、關閉光柵閥;

2、鈦鋁靶在安裝時一定要貼合到靶座底部冷卻要好;

3、多弧靶的磁鐵同極性擺放;

4、鍍膜時間要夠長、顏色更加穩定;但要充分考慮光亮度。